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第453章 中试(第2页)

吕辰直起腰:“我没看出来有什么问题,咱们去中试线……”

诸葛彪拦住:“先别急,再对一遍逻辑。”

又等了三个多小时,才对完。

“初步行了。”诸葛彪放下放大镜,“准备流片。”

吕辰三人带着底片,来到右翼后面的中试线车间,门口已经挂上了“集成电路中试线”的牌子。

在洁净区,换了洁净服、戴上口罩帽子。

进入实验区,看着中试线简陋的场景和设备,吕辰心里有些感慨。

当初,他们在这里打七只老虎,为6305厂的产线建设定下了最终的方案。

如今这里成了集成电路实验室自己的实验线。

但这里才是真正的“摇篮”,所有的新芯片,都是先在这里试制成功,才会把工艺文件交到6305厂去批量生产。

三人找到柳工,他是中试线的负责人,也是光刻环节的大师傅,说话慢条斯理,但手上功夫极稳。

吕辰把底片交给柳工:“柳工,这就是高频脉冲电机的底片。”

柳工接过那四张底片,对着光看了看:“这套版图做得挺规矩的,至少要两个星期,才能出结果。”

吕辰点头:“麻烦柳工了。”

“不麻烦,我去忙了,你们自便。”说完柳工就走了。

三人在车间里转了起来,中试线的光刻机,是GCA-201CGS的原型机,或者说是实验机、验证机,算是国产第一代,接触式光刻,废物再利用,成了这条中试线的核心。

三人特意看了进给系统的摇柄,果断换成了轮式手柄,边缘滚花,握在手里应该很舒服。

手柄连接着一个蜗轮蜗杆减速机构,轻轻转一圈,工作台就移动一个微小的距离。

“这就是陈志国做的?”吕辰和钱兰好奇。

诸葛彪笑道:“对,就是这个。要说,志国这小子是真的眼里有活。咱们所里那么多人,都是搞自动化出来的,但是就没人关注这个细节,他一眼就看出来了,车了这个环形柄,质量上基本做到了完全对称,解决了杠杆原理带来的漂移。”

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